原子吸收光譜儀利用待測元素所產生的基態原子對其特征譜線的吸收程度來進行定量分析的方法。原子吸收光譜儀的光源是空心陰極燈，檢測的樣品是溶液。 X射線熒光光譜儀樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業樣品。發射源是Rh靶X光管，盡管二者都是把物質激發后檢測其熒光，但二者的區別很大，從大的方面看主要有兩點：
一、激發光源不同。
原子熒光用的光源很多，如各種激光等，但很少見有用X-射線的；而X-射線熒光則是用X-射線作激發光源。
二、用途不同。
原熒主要用來作定量分析，尤其是金屬元素的定量分析；而X熒光主要用來作定性分析和結構分析。當然二者的儀器構造、使用方法、檢測范圍、樣品制備等等都不一樣。
三、兩者的結構與所用的部件基本相同, 差別在于：
?、?為避免激發輻射進人檢測器影響原子熒光信號的檢測,原子熒光光譜儀的檢測器與激發光束不在同一直線上, 通常成直角配置;?、?原子吸收光譜分析是測量入射輻射光強與透射輻射光強的比值, 而原子熒光光譜分析是直接測量與交光激發光源強度成正比的原子熒光強度, 為
?、郢@得zui大的輻照立體角, 許多原子熒光光譜儀不用分光部件。
原子熒光光譜譜線相對簡單，元素間譜線重疊較少，所以原子熒光光譜儀的光路系統通常較為簡單，當采用蒸氣發生法時，只有能形成氫化物及形成原子蒸氣的元素進入原子化區，可以采用非色散系統，因此儀器的光學系統簡單、結構緊湊，易于實現商品化和小型化。
