電感耦合等離子體原子發射光譜儀主要用于液體試樣(包括經化學處理能轉變成溶液的固體試樣)中金屬元素和部分非金屬元素的定量分析。 將樣品溶液以氣溶膠形式導入等離子體炬焰中，樣品被蒸發和激發，發射出所含元素的特征波長的光。經分光系統分光后，其譜線強度由光電元件接受并轉變為電信號而被記錄。根據元素濃度與譜線強度的關系，測定樣品中各相應元素的含量。
電感耦合等離子體是由高頻感應電流產生的類似 火焰的激發光源。主要包括高頻發生器和感 應線圈、等離子體矩管和工作氣體三部分。 在近代物理學中，把電離度大于0.1%電離 氣體都稱為等離子體，也即電子和離子濃度 處于平衡狀態的電離氣體。等離子矩就是由 等離子體形成的"電火炬"。電感耦合等離 子體矩是利用高頻感應加熱原理，使流經石 英管的工作氣體(通常為Ar)電離而產生 火焰狀的離子體。
樣品溶液被噴成霧狀并隨工作氣體進入內管，穿過等離子體核心區，被解離為原子或離子并被激發，發射出特征譜線。各種元素具有各自的特征光譜線，由此可進行定性分析，光譜線的強度與試樣中相應元素的含量成正比.可用以定量分析。電感耦合等離子體原子發射光譜法(ICP- AES)就是以高頻電感耦合等離子體為激發光源的原子發射光譜法.可對約70多種金屬元素進行分析，并1L可進行多元素的同時分析。
2、電感耦合等離子體原子發射光譜儀的工作原理
高頻振蕩器發生的高頻電流，經過耦合系統連接在位于等離子體發生管上端，銅制內部用水冷卻的管狀線圈上。石英制成的等離子體發生管內有三個同軸氫氣流經通道。冷卻氣(Ar)通過外部及中間的通道，環繞等離子體起穩定等離子體炬及冷卻石英管壁，防止管壁受熱熔化的作用。原理介紹編輯高頻振蕩器發生的高頻電流，經過耦合系統連接在位于等離子體發生管上端，銅制內部用水冷卻的管狀線圈上。
石英制成的等離子體發生管內有三個同軸氬氣流經通道。冷卻氣(Ar)通過外部及中間的通道，環繞等離子體起穩定等離子體炬及冷卻石英管壁，防止管壁受熱熔化的作用。工作氣體(Ar)則由中部的石英管道引入，開始工作時啟動高壓放電裝置讓工作氣體發生電離，被電離的氣體經過環繞石英管頂部的高頻感應圈時，線圈產生的巨大熱能和交變磁場，使電離氣體的電子、離子和處于基態的氖原子發生反復猛烈的碰撞，各種粒子的高速運動，導致氣體完全電離形成一個類似線圈狀的等離子體炬區面，此處溫度高達6000一10000攝氏度。樣品經處理制成溶液后，由超霧化裝置變成全溶膠由底部導入管內，經軸心的石英管從噴咀噴入等離子體炬內。樣品氣溶膠進入等離子體焰時，絕大部分立即分解成激發態的原子、離子狀態。當這些激發態的粒子回收到穩定的基態時要放出一定的能量(表現為一定波長的光譜)，測定每種元素特有的譜線和強度，和標準溶液相比，就可以知道樣品中所含元素的種類和含量。
